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MEMS技术及其在海洋观测中的应用

作者:admin  更新时间:2019-07-09

MEMS技术及其在海洋观测中的应用

  微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。

  MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米~1微米可是要比人们头发的直径小很多。MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS器件加工技术并非机械式。相反,它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。

  今天很多产品都利用了MEMS技术,如微换热器、喷墨打印头、高清投影仪的微镜阵列、压力传感器以及红外探测器等。MEMS技术可以用于制造压力传感器、惯性传感器、磁力传感器、温度传感器等微型传感器,这些传感器以及它们的部分信号处理电路都可以在只有几毫米或更小的芯片上实现。与传统的传感器相比,MEMS传感器不仅体积更小、功耗更低,而且它们往往会比传统传感器更加准确、更加灵敏。随着人们对海洋观测的需求不断增加和海洋观测技术的不断发展,MEMS技术也在逐渐进入海洋观测技术研究领域。