行业资讯

聚焦科技之美

以高素质团队和专业设备打造业界领先的传感器、混合集成电路产品

聚焦科技之美

行业资讯

  主页 / 新闻资讯 / 行业资讯 /

MEMS发展现状

作者:admin  更新时间:2019-07-09

MEMS发展现状

  基于各种原因,许多MEMS产品在商业上取得了巨大成功,其中许多器件已经获得广泛应用。汽车工业是MEMS技术的主要驱动力之一。例如MEMS振动结构陀螺仪,是一款新的相当便宜的设备,目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统中。村田电子的SCX系列MEMS加速度计、陀螺仪和倾斜仪,以及将这些功能集成在一个单芯片中可助力特定的汽车应用---因为它们的精度要求可能会非常高。基于MEMS的气囊传感器自上世纪90年代起在几乎所有汽车中已经普遍取代了机械式碰撞传感器。上图显示了一个简化的MEMS加速度计示例,同碰撞传感器中使用的类似。一个带有一定质量块的悬臂梁连接到一个或多个固定点以作为弹簧。当传感器沿梁的轴线加速时,该梁会移动一段距离,这段距离可以通过梁的“牙齿”与外部固定导体之间的电容变化来测量。

  许多商用和工业用喷墨打印机使用基于MEMS技术的打印机喷头,保持这些墨滴并在需要时精确地放下这些墨滴——这一技术被称为按需投放(DoD)。墨滴放置在横跨压电材料(比如lead zirconatetitanate,)组成的元件中,通过施加的电压来进行挤压。这增加了打印头墨水室的压力,通过施力形成一个非常小量(相对压缩)的墨水,并从喷嘴中喷出。

  与此同时,其它一些MEMS技术才刚开始大规模进入市场。微机械继电器(MMR),比如欧姆龙开发的,这种继电器更快,更高效,其集成度前所未有。欧姆龙发挥了自己的微机电系统专业优势,为市场带来新款温度传感器:D6T非接触式MEMS温度传感器。该D6TMEMS制作过程中集成了ASIC和热电堆元件,所以这种小型化的非接触式温度传感器大小仅为18×14×8.8毫米(4x4元件类型)。

  当然,当前的MEMS技术不限于单个传感器器件,考虑一下人的感官:单只眼带给我们颜色、运动和(一些)位置信息,而两只眼睛将带来双眼视觉,改善立体感知。事实上,我们的许多感知体验需要感官的组合,这样的感知才是最终有意义的。我们的思路是,通过将传感数据组合起来,可以弥补单个感官器官的弱点和缺点,并达到某种程度上最佳的环境理解。在人类领域,这就是所谓的“多通道整合”;而在电子领域,这就是所谓的传感器融合。传感器融合,特别是当它涉及到MEMS时,是移动设备中传感器技术的一个重要的进展。

  许多制造商已经开始提供完整的解决方案,如飞思卡尔面向Win8的12轴Xtrinsic传感器平台。该平台集成了3轴加速度计,3轴磁力计,压力传感器,3轴陀螺仪,环境光传感器,并带有一个ColdFire+MCU,以提供一个完全硬件解决方案——还打包提供专用的传感器融合软件。随着MEMS器件的优势获得认可,MEMS市场步伐也在持续加快。