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MEMS技术在我国的研制现状及未来展望

作者:admin  更新时间:2019-07-10

MEMS技术在我国的研制现状及未来展望

  我国的MEMS研究始于20世纪90年代初,在“八五”、“九五”期间得到了科技部、教育部、中科院、国家自然科学基金委的支持,研制了微陀螺与微加速度计、微型传感器和微型执行器、微流量器件和系统、生物芯片和微电泳仪、微型光开关和RF MEMS器件、微型机器人和微操作系统、硅和非硅制造工艺。其中微型压力传感器、微型加速度计、微流量传感器和微气体传感器已经得到少量应用.目前全国约有50多个MEMS研制单位,形成了几个MEMS研究力量相对集中的地区。如上海交通大学研制了用于小型直升飞机试验的直径2mm的微型马达。

  由于各种原因,我国的MEMS研究在质量、性能价格比及商品化等方面与国外有很大的差距。政府加大投入、企业参与开发应为MEMS从业人员提供更加强大的资金、技术支持。

  ⒉MEMS发展趋势

  当前MEMS技术正处于突破和高速发展前夕,21世纪肯定会展现一个大发展的局面,其广泛应用和效益将强有力的显示出来,对信息、航天、航空、自动控制、医学、生物学、力学、光学、热学、近代物理和工程学等领域的影响将是深刻的人类的生产和生活方式也会因此而发生某些变化。

  MEMS技术发展的目标是不断提高集成系统的性能及价格比,因此提高芯片的集成度是不断缩小半导体器件特征尺寸的动力源泉。研究方向的多样化、加工工艺的多样化、系统单片集成化将是MEMS技术的发展方向。

  MEMS技术目前仍属于新兴的技术领域,并不是很成熟,许多领域的研究仍比较匮乏。但通过目前国内外的研究成果可以看到,MEMS传感器系统具有高集成度、高灵敏度、高分辨率、低功耗、低成本等优势。MEMS是21世纪推动国民经济的一项重要的技术,它们的实现和应用必将对许多重要技术领域的发展产生深远的影响。

  在海洋观测中应用MEMS传感器技术,可以实现传感器的高集成度、小型化和低功耗,从而令海洋观测仪器体积更小、功耗更低、配置更灵活。另外MEMS声学换能器不仅可以作为一种观测设备,同时还可以实现水下通信,以构建水下无线传感网。

  随着人们对海洋研究的深入和未来海洋观测技术智能化、网络化和小型化的发展,MEMS传感器技术将以其特有的优势,在海洋观测技术的发展中发挥更重要的作用。相信随着MEMS技术的日趋成熟,MEMS传感器技术将更广泛的应用在海洋观测的各个领域中。